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壓阻式壓力傳感器質量好壞的區(qū)別

時間:2021-04-12 點擊次數:

        壓力傳感器典型類型壓力傳感器主要可分為壓阻式、電容式、壓電式、諧振式、伺服控制式和CMQS集成式等。壓阻式壓力傳感器又稱擴散硅壓力傳感器,其制造技術比較簡單,線性好,價格通常也相對較低,但對溫度相對敏感,可能存在溫度漂移,且靈敏度相對較低,典型產品技術數據如下。

壓阻式壓力傳感器質量好壞的區(qū)別(圖1)

        1、工作原理不同

        壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。

        壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應制成的。

        2、側重點不同

        壓電式壓力傳感器當晶體受到某固定方向外力的作用時,內部就產生電極化現象,同時在某兩個表面上產生符號相反的電荷;當外力撤去后,晶體又恢復到不帶電的狀態(tài);當外力作用方向改變時,電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產生的電荷量與外力的大小成正比。

        壓阻式壓力傳感器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。

        3、構造不同

        壓電式壓力傳感器基于壓電效應的壓力傳感器。它的種類和型號繁多,按彈性敏感元件和受力機構的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。

        壓阻式傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線。壓力傳感器是測量工作介質壓力的元件,其輸出通常是連續(xù)的模擬信號。壓力開關是根據壓力控制電路通斷的元件,輸出通常是開關值。

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