1、工作原理不同
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。
壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應制成的。
2、側重點不同
壓電式壓力傳感器當晶體受到某固定方向外力的作用時,內部就產生電極化現象,同時在某兩個表面上產生符號相反的電荷;當外力撤去后,晶體又恢復到不帶電的狀態(tài);當外力作用方向改變時,電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產生的電荷量與外力的大小成正比。
壓阻式壓力傳感器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
3、構造不同
壓電式壓力傳感器基于壓電效應的壓力傳感器。它的種類和型號繁多,按彈性敏感元件和受力機構的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。
壓阻式傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線。壓力傳感器是測量工作介質壓力的元件,其輸出通常是連續(xù)的模擬信號。壓力開關是根據壓力控制電路通斷的元件,輸出通常是開關值。
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