應(yīng)用于醫(yī)療中的硅壓阻式傳感器的誤差問(wèn)題

壓阻式智能傳感器在醫(yī)療行業(yè)的誤差問(wèn)題:

校準(zhǔn)SPRT傳感器的主要難點(diǎn)是誤差范圍廣，采用不同技術(shù)生產(chǎn)的SPRT傳感器有不同類(lèi)型的誤差和誤差范圍。同一廠(chǎng)家提供的同一型號(hào)傳感器的誤差范圍也有輕微差異。SPRT傳感器的誤差因素包括偏信號(hào)隨溫度變化的強(qiáng)非線(xiàn)性(高達(dá)1%ok)大初始失調(diào)(滿(mǎn)偏100%以上)和失調(diào)隨溫度的強(qiáng)漂移等。在一定的限度內(nèi)，這些缺陷可以通過(guò)電子電路進(jìn)行補(bǔ)償。

在一定溫度下，SPRT橋梁電阻(Vcc與地面等效電阻)可以在較寬的壓力范圍內(nèi)保持相當(dāng)一定，但隨著溫度的提高，橋梁電阻顯著增加，如果橋梁由恒流源驅(qū)動(dòng)，則橋梁電壓(指Vcc與地面等效電阻與恒流源輸出電流的乘積)增加。隨著溫度的提高，橋梁電壓的靈敏度也會(huì)增加。另一方面，如果橋梁電壓保持一定，SPRT的壓力敏感度會(huì)隨著溫度的提高而降低。

因此，SPRT的壓力敏感度受到兩個(gè)對(duì)立因素的影響:溫度和橋面電壓。這種橋面電阻或橋面電壓的變化可以通過(guò)現(xiàn)代信號(hào)調(diào)節(jié)電路IC來(lái)糾正SPRT靈敏度在溫度范圍內(nèi)的誤差。值得注意的是，這種信號(hào)調(diào)節(jié)電路IC可以根據(jù)橋面電阻的變化修正靈敏度隨溫度的變化而變化。通過(guò)對(duì)SPRT產(chǎn)生誤差的主要因素的分析，可以有針對(duì)性地進(jìn)行校正和補(bǔ)償。下面為大家介紹一下目前常用的傳統(tǒng)修改、現(xiàn)代修改和簡(jiǎn)化補(bǔ)償方法。

五是傳統(tǒng)的校正方法。

可以將SPRT精度補(bǔ)償?shù)竭m當(dāng)?shù)乃?，調(diào)節(jié)SPRT失調(diào)、失調(diào)的溫度漂移和SPRT敏感度的溫度漂移。與SPRT敏感溫度漂移有關(guān)的是全部榆樹(shù)(FSO)的溫度漂移，這兩個(gè)參數(shù)(指SPRT敏感溫度漂移與全部榆樹(shù)的溫度漂移)的溫度特性成正比。電路中的零阻力Rjz用于補(bǔ)償室溫下傳感器的失調(diào)電壓，溫度敏感阻力Rts和Rtz(或Rtz)用于校正溫度誤差。前面提到，橋梁阻力隨著溫度的升高而增加，傳感器兩端的電壓Vo+Vo-()也增加，這種增加的電壓△Vo+Vo-會(huì)提高傳感器的靈敏度，也就是說(shuō)在給定的壓力下輸出更高的電壓。

然而，如果傳感器兩端的電壓保持不變，則傳感器的靈敏度會(huì)隨著溫度的升高而降低(或稱(chēng)為負(fù)向靈敏度系數(shù))，但當(dāng)它受到溫度的影響而增加時(shí)，它的靈敏度的正向變化系數(shù)大于負(fù)向靈敏度系數(shù)，因此滿(mǎn)偏輸出(FSO)傾向于隨著溫度的升高而增加。當(dāng)溫度升高時(shí)，阻力Rts可以切斷橋梁電流的一部分，從而抵消上述效果。類(lèi)似地，Rtz或Rtz可以糾正不平衡的漂移。電路中Rts的選擇還是Rtz取決于不平衡的溫度漂移方向。

這種傳統(tǒng)的修改方法的優(yōu)點(diǎn)是程序簡(jiǎn)單便宜，但主要問(wèn)題是各補(bǔ)償元件相互影響，修改非常困難，限制了可以達(dá)到的精度，這種修改技術(shù)也不方便電子調(diào)整。

6.現(xiàn)代校正-補(bǔ)償技術(shù)。

由于SPRT的誤差范圍很廣，所以必須通過(guò)現(xiàn)代化和簡(jiǎn)化補(bǔ)償法來(lái)校準(zhǔn)。目前，現(xiàn)代校正-補(bǔ)償技術(shù)是MAX145新信號(hào)調(diào)節(jié)芯片和SPRT的組合，即智能傳感器和技術(shù)。

一個(gè)信號(hào)調(diào)節(jié)MAXl457集成電路，驅(qū)動(dòng)呼吸監(jiān)控器硅壓阻傳感器（SPRT），校正傳感器誤差。MAXl457具有驅(qū)動(dòng)傳感器的控制電流源和采樣傳感器橋路電壓的ADC(模塊轉(zhuǎn)換器)。

MAXl457還包括一個(gè)可編程增益功放(PGA)，用于擴(kuò)大傳感器的差異輸出；還有5個(gè)數(shù)字?jǐn)?shù)字?jǐn)?shù)字?jǐn)?shù)字轉(zhuǎn)換器，用于校正各種傳感器的誤差。由于傳感器輸出弱信號(hào)，PGA輸出電壓不足以驅(qū)動(dòng)ADC。因此，MAXl457的內(nèi)置功放可以用來(lái)將PGA的輸出提高到適當(dāng)?shù)乃健?/p>

由于橋梁電壓隨著溫度的升高而升高，這種溫度相關(guān)性可用于補(bǔ)償全偏輸出的溫度誤差。對(duì)于恒流源激勵(lì)橋架來(lái)說(shuō)，滿(mǎn)偏輸出（FSO）隨著溫度的升高而降低，導(dǎo)致滿(mǎn)偏輸出的溫度相關(guān)誤差（FSOTC）。但是，如果橋梁的電壓根據(jù)溫度以一定的速度上升，正好根據(jù)溫度下降全部敏感度，全部偏差輸出(FSO)將保持一定。

1）MAXl457如何用這種方法校正溫度引起的全輸出誤差？

首先，通過(guò)ADC量化橋梁電壓，根據(jù)量化結(jié)果，找出預(yù)計(jì)的四個(gè)校正系數(shù)(保存在EEPROM中)，并將其送到FSOTCDAC。然后DAC輸出電壓調(diào)整橋梁激勵(lì)電流，調(diào)整后的激勵(lì)電流改變橋梁電壓，補(bǔ)償特定溫度下傳感器靈敏度變化引起的全偏差輸出誤差。

為了實(shí)現(xiàn)平滑校正，橋梁電壓作為FSOTCDAC的參考輸入，在相鄰的兩個(gè)數(shù)字補(bǔ)償點(diǎn)(ADC提供給EEPROM)之間進(jìn)行模擬補(bǔ)償。用同樣的方法補(bǔ)償不平衡的溫度漂移(OFFSETTC)，不同的是OFFSETCDAC的輸出電壓對(duì)PGA輸出端的要求和節(jié)點(diǎn)(而不是MAX1457的電流源)。

2)上述四個(gè)溫度校正系數(shù)的計(jì)算步驟。

首先將傳感器和MAXl457放在最低溫度，獲取不同壓力下的傳感器數(shù)據(jù)，然后將傳感器和MAXl457放在最高溫度下，獲取不同壓力下的傳感器數(shù)據(jù)。

利用這些極限溫度點(diǎn)數(shù)據(jù)，專(zhuān)為MAXl457設(shè)計(jì)的應(yīng)用軟件可以計(jì)算四個(gè)校準(zhǔn)系數(shù)：滿(mǎn)輸出（FSO）、滿(mǎn)輸出溫度相關(guān)誤差（FSOTC）、偏差-失調(diào)（Offset）、失調(diào)溫度偏差（OFFSETC），可以修改SPRT的一級(jí)誤差。

為了獲得0.1%的精度，MAXl457允許在特定溫度下進(jìn)行補(bǔ)償，只需按規(guī)定溫度計(jì)算FSOTC和OFFSETC，用戶(hù)就可以確定校準(zhǔn)點(diǎn)的數(shù)量（最多120點(diǎn)）。如果傳感器誤差具有良好的重復(fù)性，SPRT和MAXl457的組合精度可達(dá)0.1%以上。

與傳統(tǒng)方法相比，MAXl457的補(bǔ)償技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢(shì)。MAXl457消除了補(bǔ)償部件之間的相互影響，由于相互獨(dú)立的失調(diào)和滿(mǎn)度調(diào)節(jié):失調(diào)在PGA輸出端得到補(bǔ)償，F(xiàn)SO通過(guò)電流源得到補(bǔ)償。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，對(duì)不同的溫度點(diǎn)進(jìn)行特定的修正，可以獲得更高的精度。這種方法本質(zhì)上優(yōu)于外部電阻，因?yàn)楹笳邿o(wú)法在特定溫度點(diǎn)精確補(bǔ)償傳感器。

MAX1457提供的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于呼吸監(jiān)視器的要求，因此選擇它主要是因?yàn)閮?nèi)部有額外的運(yùn)輸，可以擴(kuò)大呼吸監(jiān)視器傳感器的低電平信號(hào)。由于MAX1457可以使監(jiān)控器在寬溫度范圍內(nèi)工作，SPRT和MAX1457的組合可以獲得優(yōu)異的精度，因此可以應(yīng)用于空間探測(cè)和潛水呼吸器。

深圳市力準(zhǔn)傳感技術(shù)有限公司是測(cè)力傳感器、扭矩傳感器、稱(chēng)重傳感器、柱式傳感器的專(zhuān)業(yè)制造商，也是集生產(chǎn)、銷(xiāo)售、售后為一體的綜合性技 術(shù)型企業(yè)。

主要產(chǎn)品有多個(gè)品種的稱(chēng)重、測(cè)力、壓力、扭矩傳感器等千余款產(chǎn)品。稱(chēng)重范圍小到幾克，大到1000多噸；產(chǎn)品適用于各種惡劣環(huán)境。

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